罗茨泵又称高粘度转子泵,罗茨泵由泵体、泵盖、轴、齿轮、转子、填料、压盖等部件组.在泵腔内,有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动.在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行.由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵.罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空.为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用.罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似.由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出.由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀. 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高.当转子继续转动时,气体排出泵外.为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程.在0°位置时,下转子从泵入口封入v0体积的气体.当转到45°,该腔与排气口相通.由于排气侧压强较高,引起一部分气体返冲过来.当转到90°,下转子封入的气体,连同返冲的气体一起排向泵外.这时,上转子也从泵入口封入v0体积的气体.当转子继续转到135°时,上转子封入的气体与排气口相通,重复上述过程.180°位置和0°位置是一样的.转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体.